按真空泵的工作原理，真空泵基礎(chǔ)上可以分為兩種類(lèi)型，即氣體傳輸泵和睦體捕集泵。隨著真空利用技巧在生產(chǎn)和科學(xué)研究范疇中對(duì)其利用壓強(qiáng)范疇的請(qǐng)求越來(lái)越寬，大多需要由幾種真空泵組成真空抽氣系統(tǒng)共同抽氣后才干滿(mǎn)足生產(chǎn)和科學(xué)研究過(guò)程的請(qǐng)求，因此選用不同類(lèi)型真空泵組成的真空抽氣機(jī)組進(jìn)行抽氣的情況較多。為了方便起見(jiàn)，將這些泵按其工作原理或其結(jié)構(gòu)特點(diǎn)進(jìn)行一些具體的具體的分類(lèi)是必要的?，F(xiàn)分述如下：
一、氣體傳輸泵
氣體傳輸泵是一種能賭氣體不斷的吸進(jìn)和排出，借以達(dá)到抽氣目標(biāo)的真空泵，這種泵基礎(chǔ)上有兩種類(lèi)型：
1）變?nèi)菡婵毡?
變?nèi)菡婵毡檬抢帽们蝗莘e的周期性變更來(lái)完成吸氣和排氣過(guò)程的一種真空泵。氣體在排出前被壓縮。這種泵分為往復(fù)式及旋轉(zhuǎn)式兩種：
⑴往復(fù)真空泵：是利用泵腔內(nèi)活塞做往復(fù)運(yùn)動(dòng)，將氣體吸進(jìn)、壓縮并排出。因此，又稱(chēng)為活塞式真空泵。
⑵旋轉(zhuǎn)真空泵：是利用泵腔內(nèi)活塞做旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，將氣體吸進(jìn)，壓縮并排出。旋轉(zhuǎn)真空泵又有如下幾種型式：
①油封式真空泵：它是利用油類(lèi)密封各運(yùn)動(dòng)部件之間的間隙，減少有害空間的一種旋轉(zhuǎn)變?nèi)菡婵毡?。這種泵通常帶有氣鎮(zhèn)裝置，故又稱(chēng)氣鎮(zhèn)式真空泵。按其結(jié)構(gòu)特點(diǎn)分為如下五種型式。
a)旋片式真空泵：轉(zhuǎn)子以必定的偏心距裝在泵殼內(nèi)并與泵殼內(nèi)表面的固定面靠近，在轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有兩個(gè)（或兩個(gè)以上）旋片，當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時(shí)旋片能沿其徑向槽往復(fù)滑動(dòng)且與泵殼內(nèi)壁始終接觸，此旋片隨轉(zhuǎn)子一起旋轉(zhuǎn)，可將泵腔分成幾個(gè)可變?nèi)莘e。
b）滑閥式真空泵：在偏心轉(zhuǎn)子外部裝有一個(gè)滑閥，轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)滑閥沿泵殼內(nèi)壁滑動(dòng)和轉(zhuǎn)動(dòng)，滑閥上部的滑閥桿能在可擺動(dòng)的滑閥導(dǎo)軌中滑動(dòng)，而把泵腔分成兩個(gè)可變?nèi)莘e。
c）定片式真空泵：在泵殼內(nèi)裝有一個(gè)與泵內(nèi)表面靠近的偏心轉(zhuǎn)子，泵殼上裝有一個(gè)始終與轉(zhuǎn)子表面接觸的徑向滑片，當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時(shí)，滑片能上、下滑動(dòng)將泵腔分成兩個(gè)可變?nèi)莘e。
d）余擺線(xiàn)式真空泵：在泵腔內(nèi)偏心裝有一個(gè)型線(xiàn)為余擺線(xiàn)的轉(zhuǎn)子，它沿泵腔內(nèi)壁轉(zhuǎn)動(dòng)并將泵腔分成兩個(gè)可變?nèi)莘e。
e）多室旋片式真空泵：在一個(gè)泵殼內(nèi)并聯(lián)裝有由同一個(gè)電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)的多個(gè)獨(dú)立工作室的旋片真空泵。
②干式真空泵：它是一種不用油類(lèi)（或液體）密封的變?nèi)菡婵毡谩?
③液環(huán)式真空泵：帶有多葉片的轉(zhuǎn)子偏心裝在泵殼內(nèi)，當(dāng)它旋轉(zhuǎn)時(shí)，把液體（通常為水或油）拋向泵殼形成泵殼同心的液環(huán)，液環(huán)同轉(zhuǎn)子葉片形成了容積周期變更的幾個(gè)小容積，故亦稱(chēng)旋轉(zhuǎn)變?nèi)菡婵毡谩?
④羅茨真空泵：泵內(nèi)裝有兩個(gè)相反方向同步旋轉(zhuǎn)的雙葉形或多葉形的轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子間、轉(zhuǎn)子同泵殼內(nèi)壁之間均保持必定的間隙。它屬于旋轉(zhuǎn)變真空泵。機(jī)械增壓泵即為這種型式的真空泵。
2）動(dòng)量傳輸泵
這種泵是依附高速旋轉(zhuǎn)的葉片或高速射流，把動(dòng)量傳輸給氣體或氣體分子，賭氣體持續(xù)不斷地從泵的進(jìn)口傳輸?shù)匠隹凇＞唧w可分為下述幾種類(lèi)型。
⑴分子真空泵：它是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把能量傳輸給氣體分子，使之壓縮、排氣的一種真空泵。它有如下幾種型式：
①牽引分子泵：氣體分子與高速運(yùn)動(dòng)的轉(zhuǎn)子相碰撞而獲得動(dòng)量，被送到出口，因此，是一種動(dòng)量傳輸泵。
②渦輪分子泵：泵內(nèi)裝有帶槽的圓盤(pán)或帶葉片的轉(zhuǎn)子，它在定子圓盤(pán)（或定片）間旋轉(zhuǎn)。轉(zhuǎn)子圓周的線(xiàn)速度很高。這種泵通常在分子流狀態(tài)下工作。
③復(fù)合分子泵：它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯(lián)組合起來(lái)的一種復(fù)合式分子真空泵。
⑵噴射真空泵：它是利用文丘里（Venturi）效應(yīng)的壓力降產(chǎn)生的高速射流把氣體輸送到出口的一種動(dòng)量傳輸泵，適于在粘滯流和過(guò)渡流狀態(tài)下工作。這種泵又可具體地分成以下幾種：
①液體噴射真空泵：以液體（通常為水）為工作介質(zhì)的噴射真空泵。
②氣體噴射真空泵：以非可凝性氣體作為工作介質(zhì)的噴射真空泵。
③蒸氣噴射真空泵：以蒸氣（水、油或汞等蒸氣）作為工作介質(zhì)的噴射真空泵。
⑶擴(kuò)散泵：以低壓高速蒸氣流（油或汞等蒸氣）作為工作介質(zhì)的噴射真空泵。氣體分子擴(kuò)散到蒸氣射流中，被送到出口。在射流中氣體分子密度始終是很低的，這種泵適于在分子流狀態(tài)下工作?？煞譃椋?
①自?xún)艋瘮U(kuò)散泵：泵液中易揮發(fā)的雜質(zhì)經(jīng)專(zhuān)門(mén)的機(jī)械輸送到出口而不回到鍋爐中的一種油擴(kuò)散泵。
②分餾式擴(kuò)散泵：這種泵具有分餾裝置，使蒸氣壓強(qiáng)較低的工作液蒸氣進(jìn)進(jìn)高真空工作的噴嘴，而蒸氣壓強(qiáng)較高的工作液蒸氣進(jìn)進(jìn)低真空工作的噴嘴，它是一種多級(jí)油擴(kuò)散泵。
⑷擴(kuò)散噴射泵：它是一種有擴(kuò)散泵特征的單級(jí)或多級(jí)噴嘴與具有噴射真空泵特征的單級(jí)或多級(jí)噴嘴串聯(lián)組成的一種動(dòng)量傳輸泵。油增壓泵即屬于這種型式。
⑸離子傳輸泵：它是將被電離的氣體在電磁場(chǎng)或電場(chǎng)的作用下，輸送到出口的一種動(dòng)量傳輸泵。

二、氣體捕集泵
這種泵是一種賭氣體分子被吸附或凝聚在泵的內(nèi)表面上，從而減小了容器內(nèi)的氣體分子數(shù)目而達(dá)到抽氣目標(biāo)的真空泵，有以下幾種型式。
1）吸附泵
它重要依附具有大表面的吸附劑（如多孔物質(zhì)）的物理吸附作用來(lái)抽氣的一種捕集式真空泵。
2）吸氣劑泵
它是一種利用吸氣劑以化學(xué)聯(lián)合方法捕捉氣體的真空泵。吸氣劑通常是以塊狀或沉積新穎薄膜情勢(shì)存在的金屬或合金。升華泵即屬于這種型式。
3）吸氣劑離子泵
它是使被電離的氣體通過(guò)電磁場(chǎng)或電場(chǎng)的作用吸附在有吸氣材料的表面上，以達(dá)到抽氣的目標(biāo)。它有如下幾種型式。
⑴蒸發(fā)離子泵：泵內(nèi)被電離的氣體吸附在以中斷或持續(xù)方法升華（或蒸發(fā)）而覆在泵內(nèi)壁的吸氣材料上，以實(shí)現(xiàn)抽氣的一種真空泵。
⑵濺射離子泵：泵內(nèi)被電離的氣體吸附在由陰極持續(xù)濺射散出來(lái)的吸氣材料上，以實(shí)現(xiàn)抽氣目標(biāo)的一種真空泵。
4）低溫泵
利用低溫表面捕集氣體的真空泵
3.1.3 真空泵的性能參數(shù)及應(yīng)用范疇
3.1.3.1 真空泵的性能參數(shù)
1）真空泵的極限壓強(qiáng)
泵的極限壓強(qiáng)單位是Pa，是指泵在進(jìn)口處裝有尺度實(shí)驗(yàn)罩并按規(guī)定條件工作，在不引進(jìn)氣體正常工作的情況下，趨向穩(wěn)固的最低壓強(qiáng)。
2）真空泵的抽氣速率
泵的抽氣速率單位是m3/s或l/s，是指泵裝有尺度實(shí)驗(yàn)罩，并按規(guī)定條件工作時(shí)，從實(shí)驗(yàn)罩流過(guò)的氣體流量與在實(shí)驗(yàn)罩指定地位測(cè)得的平衡壓強(qiáng)之比。簡(jiǎn)稱(chēng)泵的抽速。
3）真空泵的抽氣量
真空泵的抽氣量單位是Pa m3/s或Pa l/s。是指泵進(jìn)口的氣體流量。
4）真空泵的起動(dòng)壓強(qiáng)
真空泵的起動(dòng)壓強(qiáng)單位為Pa，它是指泵無(wú)損壞起動(dòng)并有抽氣作用時(shí)的壓強(qiáng)。
5）泵的前級(jí)壓強(qiáng)
真空泵的前級(jí)壓強(qiáng)單位是Pa，它是指排氣壓強(qiáng)低于一個(gè)大氣壓的真空泵的出口壓強(qiáng)。
6）真空泵的最大前級(jí)壓強(qiáng)
真空泵口最大前級(jí)壓強(qiáng)單位是Pa，它是指超過(guò)了能使泵損壞的前級(jí)壓強(qiáng)。
7）真空泵的最大工作壓強(qiáng)
真空泵的最大工作壓強(qiáng)單位是Pa，它是指對(duì)應(yīng)最大抽氣量的進(jìn)口壓強(qiáng)。在此壓強(qiáng)下，泵能持續(xù)工作而不惡化或損壞。
8）壓縮比
壓縮比是指泵對(duì)給定氣體的出口壓強(qiáng)與進(jìn)口壓強(qiáng)之比。
9）何氏系數(shù)
泵抽氣通道面積上的實(shí)際抽速與該處按分子瀉流盤(pán)算的理論抽速之比。
10）抽速系數(shù)
泵的實(shí)際抽速與泵進(jìn)口處按分子瀉流盤(pán)算的理論抽速之比。
11）返流率
泵的返流率單位是g/cm2.s。它是指泵按規(guī)定條件工作時(shí)，通過(guò)泵進(jìn)口單位面積的泵流質(zhì)量流率。
12）水蒸氣答應(yīng)量
水蒸氣的答應(yīng)量單位是kg/h，它是指泵在正常環(huán)境條件下，氣鎮(zhèn)泵在持續(xù)工作時(shí)能抽除的水蒸氣質(zhì)量流量。
13）最大答應(yīng)水蒸氣進(jìn)口壓強(qiáng)
最大答應(yīng)水蒸氣進(jìn)口壓強(qiáng)單位是Pa 。它是指在正常環(huán)境條件下，氣鎮(zhèn)泵在持續(xù)工作時(shí)所能抽除的水蒸氣的最高進(jìn)口壓強(qiáng)。